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第8回装置・保守部会技術情報交換会」開催報告

 

理事 装置・保守部会長 和田 悟

 

日時:2015 年 12 月 15 日(火)14:30~17:00

場所:中小企業振興公社会議室1(東京、秋葉原)

会費:NEDIA 会員:1,000 円、一般:3,000 円

スポンサー:六甲電子(株)
参加者:43 名(装置・保守部会:30 名、NEDIA:6 名、一般:7 名)

参加会社:27 社(デバイス:8 社、装置・メンテ:15 社、一般:4 社)

テーマ200mm 以下装置の延命化対策、性能向上、保全に対してのリクエストと対策
~言いたい事を徹底的に!そして業績向上!!~

【概要】

技術情報交換会会場

技術情報交換会会場

・第 7 回技術情報交換会でリコー電子デバイス(株)より   「200mmm 以下半導体工場の長期利用に向 けた NEDIA への期待」のプレゼンがあり、今回はそれに対する回答の位置付けです。

 

・前半は、1月に分社化するセイコーインスツル(株)からの新会社説明、そして、延命化に取り組ん でいるデバイスメーカー、研磨メーカーからの提案があります。

 
・初参加者からの一言の時間を取っています。 その後、休憩時間には、発表者、参加者間での名刺交換の時間です。

リコー電子デバイス㈱  工場長  藤川  氏

リコー電子デバイス㈱ 工場長 藤川 氏

・後半は、デバイスメーカーからの提言に対する回答です。

・資料は装置・保守部会の HP に掲載しています。

ただし、 資料によっては一部掲載していません。

13:20~受付開始

会場は定員 70 名だが 43 名が参加した。

この位が、参加者の顔が見えて丁度良い。

 

13:50~本日のプログラム(司会進行)

藤川久志氏/リコー電子デバイス(株)生産センター兼やしろ工場工場長 今回もリコー電子デバイスの藤川氏に司会進行をお願いしました。

 当日の予定変更も対応して頂きました。

 

13:55~開会の挨拶&アンケート報告

和田悟氏/NEDIA 理事、装置・保守部会長、関西 NEDIA 副代表、セミリンクス代表

仕事に直結した技術情報交換会を目指しています。 出来る限り、休憩時間や交流会で名刺交換や情報交換を行って頂きたいと 思っています。
今回は NEDIA 会員のデバイスメーカーへ事前にアンケート調査をしました。
3 社より回答を頂きましたが、具体的な問題装置も記載している内容もあります ので、自社で対応可能であれば、連絡をお願い致します。
※アンケート結果は装置・保守部会の HP にあります。

 

セイコーインスツル㈱  総括部長  小山内  氏
セイコーインスツル㈱ 総括部長 小山内 氏
パナソニックセミコンダクターソリューションズ㈱  担当部長  萩  氏
パナソニックセミコンダクターソリューションズ㈱
担当部長 萩 氏

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六甲電子㈱  生産技術課次長  池内  氏

六甲電子㈱ 生産技術課次長 池内 氏

14:05~エスアイアイ・セミコンダクタ株式会社のご紹介

小山内 潤 氏 /セイコーインスツル(株)

半導体事業部商品総括部 総括部長

2016 年 1 月にセイコーインスツルからエスアイアイ・セミコン ダクタに変わります。
新会社について、説明して頂きました。

   

14:30~200mm 以下半導体生産ライ ンにおける設備延命化対策 の取り組み

荻善一郎氏/パナソニックセミコンダクターソリューショ ンズ(株)半導体ビジネスユニット事業管理部担当部長

パナソニック セミコンダクターソリューションズとパナソニ ック タワージャズ セミコンダクターの 2 社での発表。
 旧 JSENA 時代で 4 つの活動実績の紹介が有り、それに対する成果も出しています。

 また、設備延命化課題のアウトラインの紹介、そして具体的な 装置延命化の紹介がありました。

 最後に装置・保守部会に対す る期待では情報の共有化等の提案が有った。

   

14:55~六甲電子から見た設備管理への課題

池内 隆啓 氏 / 六甲電子(株)研究開発部兼製造管理部生産技術課次長

省エネルギー対策として、コンプレッサーの更新、老朽化設備の現状について説明を行って頂きました。

今後の課題、装置・保守部会への期待についても報告して 頂きました。

     

15:20~初参加者からの一言

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             初参加の方々から一言頂きました。

 

名刺交換会

名刺交換会

15:25~休憩(名刺交換)

休憩時間は、発表者、参加者間との名刺交換、情報交換
を行いました。 ただ、時間が短い為、交流会に続きます。

 

 

 

 

 

 

 

 

くまさんメディクス㈱  営業課長  宮本  氏

くまさんメディクス㈱ 営業課長 宮本 氏

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5:40~くまさんメディクスの事業と今後

宮本哲幸氏/くまさんメディクス(株)MPSD 部営業課長

イオン注入機が中心のサービスの様であるが、プローバー 他のサービスも拡大。
また、業務請負、OEM 業務も行っています。例として制 御盤製造は OEM でハード設計以降の業務を請け負ってい ます。

 海外グループ会社として上海・台湾を設立しています。

 

16:05~クリーンルームのファンコントロールユニットおよび

  その集中監視盤の開発・設計によるリプレース実績の紹介

福王寺 一元 氏 / 第一通信工業(株)取締役技術部長

八重樫 幸夫 氏 / (株パターンアート研究所代表取締役社長

中村 雄 氏 / (株)パターンアート研究所開発グループマネージャー

㈱パターンアート研究所  マネージャー  中村  氏

㈱パターンアート研究所 マネージャー 中村 氏

㈱パターンアート研究所  代表取締役社長   八重樫  氏

㈱パターンアート研究所 代表取締役社長
八重樫 氏

第一通信工業㈱  取締役  福王寺  氏

第一通信工業㈱ 取締役 福王寺 氏

装置・保守部会のメンバー、第一通信工業とパターンアート研究所の 2 社が共同で実施した FFU の集中監視盤のリプレース実績の紹介をおこなっています。 装置・保守部会は、自社で出来ない事は、横の連携を取っています。
2 社で発表をするのは、今回、初の挑戦でした。
※発表後、デバイスメーカーから具体的な打合せをしたいとの打診が有ったそうです。

 
第一通信工業㈱  取締役  福王寺  氏

第一通信工業㈱ 取締役 福王寺 氏

16:30~若い世代への技術の伝承と育成についての取り組み紹介

福王寺  一元 氏 / 第一通信工業(株) 取締役技術部長

デバイスメーカーから、「サードパーティの若手への教育の伝 承をどの様にしているのか?」に対して、第一通信工業とし ての教育の紹介が有った。

 

16:55~閉会の挨拶&NEITAS 設立について

南 洋一 氏 / NEDIA 理事、装置・保守部会副会長、新事業創生委員会、 リソテックジャパン(株)代表取締役

閉会の挨拶の後、「株式会社ネイタス設立のお知らせ」を行った。

 

■交流会(忘年会)

~発表者との情報交換、参加者同士の情報交換の場としています~

12 月は忘年会も兼ねていますので、どしどし参加ください。

日時:2015 年 12 月 15 日(火)18:00~20:30

場所:ワインダイニング Laffine(貸切)(東京、秋葉原)

参加費:7,000 円
主催:装置・保守部会
参加者:36 名(装置・保守部会:30 名、NEDIA:3 名、一般:3 名)

参加会社:20 社(装置・メンテ:12 社、デバイス:6 社、一般:2 社)

大変多くの方々に参加して頂きました。

■発表資料について

当日、発表した全てのプレゼン資料を、発表会社の了解を得て、装置・保守部会の HP に掲載して
います。

■謝辞

受付には(株)インターテックの田中様、日総工産の高橋様に行って頂き、交流会については(株)リコ ー電子デバイスの山本様に準備、進行等を行って頂きました、この場を借りて御礼申し上げます。