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「NEDIA Day 東北 &第 10 回装置・保守部会技術情報交換会」開催報告

 

日時:2016 年 7 月 1 日(金)13:00~17:30

場所:東北大学片平さくらホール

主催:一般社団法人日本電子デバイス産業協会 東北 NEDIA、装置・保守部会

共催:東北大学未来科学共同研究センター

スポンサー:六甲電子㈱

参加費:NEDIA 会員:1,500 円、一般:4,000 円

参加者:42 名(装置・保守部会:19 名、NEDIA:13 名、一般:10 名)

参加会社:30 社・団体

【概要】

 東北 NEDIA と装置・保守部会の合同開催は 2 回目となる。そして、故大見先生の追悼も含めての 開催となった。

 NEDIA Day 東北では、泉谷氏が「大見忠弘先生追悼メモリアル講演」で基調講演 を、川添氏は、「大見教授の寄与と将来展望」で講演を行った。

  装置・保守部会は、新規に参加した、野村マイクロ・サイエンス㈱が会社紹介と、水処理以外の活 動についての紹介。青梅エレクトロニクス㈱は、会社紹介と製造設備の問題点についての紹介を行 った。

 また、六甲電子㈱は、自社の研磨技術についての報告をおこ なった。六甲電子㈱は、今回もスポンサーとなっている。リソテッ クジャパン㈱は、自社が取り扱っている、膜

千葉芳弘 氏

千葉芳弘 氏

厚測定器を容易に高性能化が可能なアップグレードキットについての紹介をおこなった。

 

12:30~受付開始

受付は、今回も日総工産㈱の本田様、高橋様へお願いした。

13:00~本日のプログラム(司会進行)

千葉芳弘氏/東北 NEDIA 副代表、日総工産㈱ 製造総括部副部長

今回も、日総工産㈱の千葉氏に進行を行って頂いた。千葉氏は、東北 NEDIA 副代表であり、 日総工産㈱としては装置・保守部会にも参加している。

齋藤昇三 氏

齋藤昇三 氏

13:10~開会の挨拶

齋藤昇三氏/NEDIA 代表理事・会長、㈱東芝 常任顧問

齋藤会長より、開会の挨拶があった。

今回は、NEDIA のロードマップ委員長であった、大見委 員長の追悼で、本日発行した、「NEDIA 戦略ロードマッ プ 2015」を参加者全員に配布した。これは、「きづき」 に着目し、そこからイノベーションつながる方向性について書かれており、一般にも販売する。

 

【第 10 回装置・保守部会技術情報交換会】

13:20「挨拶と装置・保守部会活動」

和田 悟 氏/NEDIA 理事、装置・保守部会長、関西 NEDIA 副代表、セミリンクス代表

 装置・保守部会は、参加各社が問題となっている装置や最新情報を報告し、それに対して、今後 の業務に展開できる様にするための技術報告会です。従って、報告のあった会社や参加している 会社との商談や情報交換を主に行っている。休憩時間や交流会で発表者や参加者間の名刺交換や 情報交換を行い、今後の業務につなげて頂ければ幸いです。

菅野博史 氏

菅野博史 氏

13:25~「SEMICON Japan   2016 年の取り組み」

菅野博史氏/SEMI ジャパン セールス マネージャー

 SEMI ジャパンより、今年の SEMICON Japan の取り組み、そして、中古装置に特化した市場データーの販売を 開始した。多くの方に、セミコンジャパンへの展示、参 加を期待する。中古装置のデーターベースに興味のある 方は、連絡をして頂きたい。

 

 

柳基典 氏

柳基典 氏

13:30~「会社概要と製品のご紹介

~環境にやさしい技術のご提案~

柳基典氏 (部長研究員) 、堀徹氏 (主任研究員) 野村マイクロ・サイエンス㈱ 技術開発部

 野村マイクロは野村財閥から発足している。95%は純水~超純水事業を行っている会社である。残り 5%は、あまり知られていないが、水処理に関連した設備や材料を開発研究している。

 

 

天辻喜則 氏

天辻喜則 氏

 13:55~「ウエハ加工”六甲プレミアムプロセス”と SiC 加工の最新状況」

天辻喜則氏/六甲電子㈱ 営業部

  ウェハ裏面加工で六甲電子独自のプロセスを保有している。 一般的な方法と六甲電子プロセスを比較しながらの報告。 また SiC ウェハ研磨加工について(再生も含めて)優位性を 報告された。

 

 

 

南洋一 氏

南洋一 氏

14:20「Foothill 社製膜厚計アップグレードキットの N-2 の ご紹介」

南洋一氏/リソテックジャパン㈱ 代表取締役

 元ナノメトリックスの方がスピンアウトし、新たに膜厚測定機のユニットを製作した。 このユニットは、ナノスペックのヘッドを取り換えるだけで 安価で高性能な膜厚測定が可能となる。

 また、顕微鏡のヘッドの交換でも取り換え可能な場合もある。

 

福島正人 氏

福島正人 氏

14:40~「会社概要と設備保全について」

福島正人氏/青梅エレクトロニクス㈱ 技術部 部長

 7 月から NEDIA 会員に入会した。入会と同時に装置・保守部 会に参加した。 前半は、青梅エレクトロニクスの会社案内と事業紹介、後半 は、自社で問題となっている、装置の問題点と対応について 説明された。

 装置メーカー対応不可、製造中止部品等についての対応を具体的に実施した報告が有った。

 今後は、個別にお願い致します。ご協力をお願い致します。

15:00~休憩(名刺交換)

休憩時間には、参加者から発表者や参加者間との名刺交換もあり、次の仕事や展開につなげて頂ければ幸いである。

会場風景/東北大学片平さくらホール

会場風景/東北大学片平さくらホール

 

【NEDIA Day 東北】

15:20~「半導体デバイス革命は材料から~大見教授の寄与と将来展望~」

川添良幸 氏

川添良幸 氏

川添良幸氏/NEDIA 理事、東北 NEDIA 代表、東北大学未来科学共同研究センター教授

 川添氏は、2~3 年ぶりの講演と言う。

講演で興味の引いた言葉(話)が 4 つある。

1.大見先生は「自分で作り実証する」

2.冷蔵庫、エアコン等の家電は 70 年以降、変化していない。

3.日本は、ガラパゴスで頑張る。

4.日本の周りには、メタンハイドレードが多くあり、日本は、 資源大国である。

普通だと、通り過ぎてしまう言葉(話)を、今一度、考える講演であった。

16:10~[基調講演~大見忠弘先生追悼メモリアル講演~]

「2016~2017 半導体設備投資は IoT 革命急速で一輝拡大」 泉谷渉氏/NEDIA 理事・

泉谷渉 氏

泉谷渉 氏

副会長、㈱産業タイムズ社 代表取締役社長

「デジタル家電は、崩壊した」から、始まった。 これからは、IoT が成長すると言う。

・インターネットにつながる電子機器の市場規模

・半導体設備投資、半導体メーカーの M&A や再編

・電子部品の活況

・自動運転車に関連するセンサーやシステム LSI の拡大

・産業用・家庭用・サービス用ロボットの拡大

・クレージーホース=中国の巨大投資 と言った幅広い見地からの講演を行って頂いた。

 そして、後半に大見先生の話になった。

半導体を推進する為の国家プロジェクトが発足され、そのリーダーとなり推進していく。

17:10~「閉会の挨拶」

川添良幸氏/NEDIA 理事、東北 NEDIA 代表、東北大学未来科学共同研究センター教授

■交流会

~発表者との情報交換、参加者同士の情報交換の場として~

日時:2016 年 7 月 1 日(金)17:30~19:30 場所:レストラン萩

主催:東北 NEDIA、装置・保守部会 参加費:NEDIA 会員・一般:4,000 円

参加者:28 名(装置・保守部会:15 名、NEDIA:9 名、一般:4 名) 参加会社:18 社

司会進行:

千葉芳弘氏/東北 NEDIA 副代表、日総工産㈱ 製造総括部副部長