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「第 9 回装置・保守部会技術情報交換会」開催報告

200mm以下装置の延命化対策、性能向上、保全に対してのリクエストと対策
~言いたい事を徹底的に!そして業績向上!!~

理事 装置・保守部会長 和田 悟、理事 装置・保守部会 実行委員 千葉 芳弘

 

盛況の会場風景

盛況の会場風景

日時:2016 年 2 月 26 日(金)13:30-17:30

場所:西日本シティ銀行熊本営業部(熊本市)

会費:NEDIA 会員 1,000 円、一般 3,000 円

スポンサー:六甲電子㈱

参加者:45 名(装置・保守部会 22 名、NEDIA7 名、一般 16 名)

参加会社:31 社

主催:一般社団法人日本電子デバイス産業協会

後援:熊本県

テーマ:200mm以下装置の延命化対策、性能向上、保全に対してのリクエストと対策

~言いたい事を徹底的に!そして業績向上!!~

[概要]

 デバイスメーカーから、装置・保守部会に対して期待がある。それは、「20 年後まで工場を稼働したい」 である。当然、建屋~施設~製造装置と工場全体にわたると言った内容である。デバイスメーカーが気 になっている事は、装置・メンテナンス会社が 20 年後を視野に、どの様に考えているかである。

 今回は、前半を熊本県の紹介、過去にデバイスメーカーが発表した内容と NEDIA 会員にアンケート調 査した内容のまとめ、そしてローム㈱から半導体生産ラインの改善と提案、問題提起の発表。後半は、 装置や PC の延命化対策等についての発表となる。 そして、発表者、参加者間で名刺交換・情報交換の時間もある。

13:30~受付開始

鳥栖彰孝  氏

鳥栖彰孝 氏

会場は定員が 42 名の中、45 名が参加した。 受付開始前から参加者が待っており、盛況ぶりが窺える。 今回は一般からの参加が非常に多い。

14:00~本日のプログラム(司会進行)

鳥栖彰孝氏/㈱くまさんメディクス常務取締役、装置・保守部会副部会長

14:00~開会の挨拶

和田悟氏/NEDIA 理事、装置・保守部会長、関西 NEDIA 副代表、セミリンクス代表

 装置・保守部会についての発表。会員は 51 社で、4 分の 3 が装置系となっている。

技術情報交換会は年 4 回の開催となっており、初催事となった 2013 年 12 月から、通算 9 回目となる2016 年 2 月の熊本開催までの活動を報告。

 九州 NEDIA と合同開催した第 5 回は、参加者 91 名と大変盛況であった。

 参加者間のネットワーク構築をメインテーマに掲げ、業務に直結した技術情報交換や休憩時間・交流 会での名刺交換、プレゼン資料のメール配信等行っている。

14:15~「選ばれる熊本~熊本県の立地環境について~」

池永淳一  氏

池永淳一 氏

池永淳一氏/熊本県企業立地課    課長補佐

 熊本県より、リーマンショック後から順調に回復している企業誘 致について、産学官の研究開発体制について、人材育成と教育風 土等の発表があった。

 県内の理工系新卒者数は 5,653 人で全卒業者の「24.7%」を占め ており、地元志向が強い。にも関わらず、半数以上が県外へ就職 しているとのこと。

  また、熊本県は、良好で安価な生活環境、海外展開の可能性、国や県の優遇制度も多くあり、県内企 業の紹介を行うビジネスマッチング、中途・新卒等の人材紹介を行う等の、充実したフォローアップ がなされている。

 日本一有名な営業部長である「くまモン」の経済効果は、日本銀行の試算によれば 1,244 億円(2011 年11 月~2013 年 10 月)となっているとのこと。

14:40~「装置・建屋の延命化においてデバイスメーカーが期待する事柄

~過去のデバイスメーカーの発表とアンケート結果より~」

和田悟氏/NEDIA 理事、装置・保守部会会長・関西 NEDIA 副代表、セミリンクス代表

 200mm以下を対象に延命化を行っているメーカーが多いが、生産中止や買収によるサポートの弱体化、 パーツの製造中止、システムの更新が高額でできない等の理由で、問題となっている。 サードパーティに力を入れて欲しい事柄として、問題点への対応はもちろん、建屋やユーティリティ・ CR への延命化対策や、15~20 年を見据えた若手への伝承教育等のアクションが挙がっている。

14:55~「200mm生産設備の改善 事例と延命に向けた今後の取り組 み」

池奥哲也氏(次席技術員)、

塩見和彦氏(係長)

/ローム㈱

 

 会社紹介と設備部門の業務内容に ついての発表。

池奥哲也  氏

池奥哲也 氏

塩見和彦  氏

塩見和彦 氏

 改善事例では、METAL ETCH 配管詰り対策として「HOT N2」の紹介と、SPM 洗浄装置老朽化対応として「CR 内リファブ」の紹介があった。

 200mm設備は今後 10 年以上、主力機として稼働する予定であり、部品毎に強みを持つメーカー様と 太いパイプを繋ぎながら、「復元・改善・改良・改造で延命を継続する」としてまとめた。

15:20~初参加者からの一言

15:25~休憩(名刺交換)

 

櫻井一郎  氏

櫻井一郎 氏

15:40~「わが社の事業転換」

櫻井一郎氏/櫻井精技㈱ 代表取締役社長

 会社概要、組織形態等について発表。

 自動機の設計~製造・販売を行っている。前身は造船所。

従業員は 336 名で、平均年齢は 33.5 歳と若く、98%が熊本出身と のこと。

 一種一社を原則として機密保持を行い、部品加工~最終検査まで、 社内一括の製作体制となっている。

 特筆すべきは、“営業は 1 名で、少数でも受注は止まらない。・・・何故か?

 との質問に“桜井精技”へ依頼すると何とかしてくれる!受けたら何とかする!が礎となっている。 まさに“信頼の証”が受注として現れている。

16:05~「半導体装置の装置用制御 PC の延命策」

成田  環  氏

成田 環 氏

成田環氏/㈱シェアード・ソリューション・サービス CS 部部長

 制御装置の不具合実例や制御用 PC について、これまでの修理・部 品販売等を紹介。

 PC 構成部品の販売サービス、オーバーホール・サービス、データ バックアップ・サービス、HDD デュプリケート・サービス、NVRAM 交換サービス等多くの対策方法を紹介頂いた。

 参加者(特にデバイスメーカー)より具体事例についての質疑があり、活発な意見交換が行われた。

鏡  與徳    氏

鏡 與徳 氏

16:30~「メンテナンス事業~現状から将来に向けて~」

鏡與徳氏/㈱テクノネット代表取締役社長

会社概要、事業内容について、メンテナンス事業の歴史・現状・将来について発表。

 保全需要は拡大しているが、人材不足により失注も多数。同様の考 えを持つ企業同士の垣根を越えた協調・協力関係が必要ではない か、との提案があった。

 

16:55~「製造(FA)装置向け EOL 半導体の再開発事業」

若林雄彦    氏

若林雄彦 氏

若林雄彦氏/㈱ロジック・リサーチ取締役

 会社概要、EOL 半導体の再開発事業の概略、具体的な開発手法 等についての発表。

 将来的な取り組みとして、イニシャルコストを更に低減する為 に、加盟団体の「ミニマルファブ技術研究組合」の研究・開発 成果の有効活用を想定しているとのこと。

 

17:20~閉会の挨拶

南  洋一    氏

南 洋一 氏

南洋一氏/NEDIA 理事、装置・保守部会副会長、 リソテックジャパン(株)代表取締役社長

 

[交流会]

~発表者との情報交換、参加者同士の情報交換の場として~

日時:2016 年 2 月 26 日(金)18:00~20:00

場所:ささの本店  会費:5,000 円

参加者:36 名(装置・保守部会 19 名、NEDIA6 名、一般 11 名)

参加会社:27 社

主催:装置・保守部会

[謝辞] 会場提供の西日本シティ銀行熊本営業部(熊本市)様 受付には㈱インターテックの下村様、高田様に行って頂き、交流会については準備、進行等を㈱くま さんメディクス常務取締役、装置・保守部会副会長鳥栖様に行って頂きました、この場を借りて御 礼申し上げます。